蔡司橋式三坐標測量機是使用為廣泛的一種機構形式。特點是結構簡單，開敞性比較好，視野開闊，上下零件方便。運動速度快，精度比較高。有小型、中型、大型幾種形式。

1、工作臺（一般采用花崗石），用于擺放零件支撐橋架；

        工作臺放置零件時，一般要根據零件的形狀和檢測要求，選擇適合的夾具或支撐。要求零件固定要可 靠，不使零件受外力變形或其位置發生變化。大零件可在工作臺上墊等高塊，小零件可以放在固定在工作臺上的方箱上固定后測量。

2、橋架，支撐 Z  滑架，形成互相垂直的三軸；

橋架是三坐標測量機的重要組成部分，由主、附腿和橫梁、滑架等組成。橋架的驅動部分和光柵基本都在主腿一側，附腿主要起輔助支撐的作用。由于這個原因，一般橋式三坐標測量機的橫梁長度不超過2.5米，超過這個長度就要使用雙光柵等措施對附腿滯后的誤差進行補償，或采用其他機械機構形式。

3、 滑架，使橫梁與有平衡裝置的 Z  軸連接；

滑架連接橫梁和 Z 軸，其上有兩軸的全部氣浮塊和光柵的讀數頭、分氣座。氣浮塊和讀數頭的調整比較復雜，直接影響測量機精度，不允許調整。

4、  導軌，具有精度要求的運動導向軌道，是測量基準；

導軌是氣浮塊運動的軌道，是測量機的基準之一。壓縮空氣中的油和水及空氣中的灰塵會污染導軌，造成導軌道直線度誤差變大，使測量機的系統誤差增大，影響測量精度。要保持導軌道完好，避免對導軌磕碰，定期清潔導軌。

5、光柵系統（光柵、讀數頭、零位片），是測量基準；

光柵系統是測量機的測長基準。光柵是刻有細密等距離刻線的金屬或玻璃，讀數頭使用光學的方法讀取這些刻線計算長度。另外在光柵尺座預置有溫度傳感器，便于有溫度補償功能的系統進行自動溫度補償。

6、零位片；

零位片的作用是使測量機找到機器零點。機器零點是機器坐標系的原點，是測量機誤差補償和測量機行程終控制的基準。

7、 驅動系統（伺服電機、傳動帶）；

驅動系統由直流伺服電機、減速器、傳動帶、帶輪等組成。驅動系統的狀態會影響控制系統的參數，不能隨便調整。

8、 空氣軸承氣路系統（過濾器、開關、傳感器、氣浮塊、氣管）；

空氣軸承（又稱氣浮塊）是測量機的重要部件，主要功能是保持測量機的各運動軸相互無摩擦，由于氣浮塊的浮起高度有限而且氣孔很小，要求壓縮空氣壓力穩定且其中不能含有雜質、油，也不能有 水。過濾器系統是氣路中的后一道關卡，由于其過濾精度高，非常容易被壓縮空氣中的油污染，所以一定要有前置過濾裝置和管道進行前置過濾處理。氣路中連接的空氣開關和空氣傳感器都具有保護功 能，不能隨便調整。

9、 支承（架）、隨動帶。

小型三坐標測量機采用支架支撐測量機工作臺，中、大型三坐標測量機一般采用千斤支撐工作臺。都采用三點支撐，在一個支撐的一側，有兩個附助支撐，只起保險作用。每個支撐都有一個海綿墊，能夠吸收振幅較小的震動，如果安裝測量機的附近有幅度較大的震動源，要另外采取減震措施。

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